该晶圆造成厂是在西北地,基本分娩8寸大半导体设备晶圆,平均废污水污染物出量约800吨。犹豫分娩进程中操作丰富氢氧化钠做出晶圆蚀刻,造成废污硫酸铜溶液氟化物溶度将高达200-300mg/L,远超国家地区污染物出细则(10mg/L这)。
焦化废水的成分及由来
工业废水主要是位于这三个部门:
晶圆蚀刻环节
:含高溶度氟化物(HF)、硝酸银及少量的巨资属
物理化学物理增加光泽(CMP)工业废水
:含納米级硅颗粒剂、有机质络合剂
系统擦洗废渣
:含异丙醇、氧化还原电位等巧妙物
整理新工艺具体步骤
应用"化学式沉积出的+沥青混凝土沉积出的+深层次活性炭过滤"三类解决控制系统:
一級加工处理
:加药系统氯化钙和氢氧化物钙,进行氟化钙沉定,氟化物除掉率达85%
三级处置
:加上PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),删去橡胶胶体部分态生态破坏物
三级职业资格证书进行处理
:进行多物料活力性炭过滤和活力性炭吸咐,喷水氟化物氨水浓度稳定性高在8mg/L下
重要的仪器也包括:pH自行调结系统化、斜管水解池、板框设备(污水脱水处理)。
以后功效
项目流程运动五年期监测系统统计资料展现:
氟化物最低值氧化还原电位:7.2mg/L(高出国家条件)
COD洗去率:92%
淤泥水分含量率:≤65%
年回收公司氟化钙副产的约150吨,推动物资化凭借