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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体技术基带芯片制作业厂在晶圆工艺具体步骤中,应用硅烷开始硅外延性产生,废气排放洗衣机清洗塔产生高氧化还原电位含硅废污水。废污水兼有pH变化大(2-11)、硅水平高的性能,民俗治理 的办法易展现硅垢网络堵塞,网络响应过慢或许卡死问题。 废渣含量及来源于 污废水 其主要化学成分为: 消融性硅酸盐 :SiO₂浓度值达1000-1500mg/L 氢空气氧化钠/氢空气氧化钠 :洗條塔酸碱性洗條液残存 粒子硅 :纳米级级SiO₂悬浊液 痕量砷 :奶茶原料溶物带往 进行处理技艺步骤 转型升级选用"二级中合+膜过滤装置+化掉沉淀"生产技术: 一个中合 :用CaO调低pH至4-5,绘制硅酸钙沉淀物,硅删去率60%。 二次元采和 :加Na₂CO₃将pH加快至9,进一点沉积其他硅,串并联用镁剂除砷。 超滤膜体统 :0.02μm工业陶瓷膜过滤程序纳米级级硅粒子,通量稳定性高在80LMH。 MVR多效空调蒸发器 :果汁高盐污水,凝结出Na₂SO₄副成品,水中水回用率超90%。 终结效果好 总硅从1500mg/L降为5mg/L下列 砷分子量从0.8mg/L调至0.01mg/L 系统无积垢运作高出2年 年均的回收利用盐酸钠氯化钠晶体约800吨

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