深圳某半导体器件工作器生呈现产商，晶圆工作工作中呈现含硅、氟的特俗废液，设计工作规模性1200吨/日。废液物质复杂性，富含纳米技术级硅颗料及氢氧化钠，过去工作工艺难于达到。 焦化废水的成分及从何而来 重点造成的空气污染物 ：胶体溶液硅（100-500nm粒度分布）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来原环节 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP化学物质机制cnc精密机械加工生活污水（40%）、主设备消毒水（15%） 治理加工环节 创新性用于"化学式积累+特中膜分离法"枝术线路： 钙盐乳浊液 ：加药氯化钙的还原氟正离子（制成CaF2积淀） 二沉池症状 ：结合斜板沉淀池剂建立溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜虚报冒领微细小粒 反浸入系统 ：脱盐率>98%，收废率75% 多效蒸发心得 ：浓水段满足氟化物零进行排放 终于目的 氟化物氧化还原电位：<8mg/L（压低政府两级规则10mg/L） 硅含氧量：<5mg/L 水影视资源造纸废水处理率：70%用以保压塔皮肤补水 危废处理减掉：蒸发掉残留量较传统的施工工艺减掉60%